Question

氦质谱检漏仪工作原理

磁流体密封装置为什么要用氦质谱检漏仪检漏

Answer 1

氦质谱检漏仪工作原理与结构和性能试验方法 氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度高，用得普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为10-9～10-12Pam3/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此…

Answer 2

由于氦气分子颗粒小,渗透性好,而且氦质谱检漏仪对氦气敏感,所以微漏也能检出来

Answer 3

因为是检微漏的，其检测灵敏准确。