净化车间的等级是怎么分的?
洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下列规定:
1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级应按下表确定。
洁净室及洁净区空气洁净度整数等级
注:按不同的测量方法,各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。
2 各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算:
式中:Cn——大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数;
N——空气洁净度等级,数字不超过9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量;
D——要求的粒径(μm);
0.1——常数,其量纲为μm。
3 当工艺要求粒径不止一个时,相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1.5倍。
4 空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm~0.5μm,超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明。
空气洁净度等级所处状态包括空态、静态、动态,空气洁净度等级所处状态应与业主协商确定。
空气洁净度的测试方法应按本规范附录A的要求进行。
当洁净室(区)内的产品生产工艺要求控制微生物、化学污染物时,应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物、化学污染物浓度限值。
条文说明
随着科学技术的发展,目前在一些高科技产品用洁净厂房中,不仅要求控制洁净室(区)内的微粒,还要求控制各类微生物、化学污染物,为此增加了本条规定。