硅片是怎样制成集成电路的呢?

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xpw432
2011-12-02 · 知道合伙人教育行家
xpw432
知道合伙人教育行家
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数理化成绩优,曾从事半导体,电子电器等设计与制造,爱好养生,自学中医经典理论,伴随名中医,熟悉中草药

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以TTL系列集成电路为例,从硅片到集成电路的工艺流程:从单晶硅上切割下来的硅片——磨光——抛光——氧化——光刻——埋层扩散——外延——氧化——光刻——隔离扩散——氧化——光刻——基区扩散——氧化——光刻——发射区扩散——真空镀铝——光刻——烧结(形成欧姆接触)——初测 至此前道工序就算完成了。
后部工序:划片——烧结基座——键合——中测——包封——老化——测试——打印(激光或丝印)
说明:上述工艺流程只是概要举例而已。各工序的名称,在不同厂家叫法也有不同。但是大致如此。MOS电路的工艺与上有若干不同之处。
zs
2023-06-10 广告
硅片切割液在切割过程提供快速冷却和润滑保护,但是如果工作液对金刚线润湿不良,常常出现伤片现象,起根本原因是表面张力没有控制合理。为了保证切割液的工作效果,控制工作液的动态表面张力是非常重要的,通常选用炔二醇类表面活性剂来降低切割液的表面质量... 点击进入详情页
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仿0真0器
2011-12-02 · TA获得超过164个赞
知道小有建树答主
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光刻
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