镀膜的溅射速率如何测量?
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在光学玻璃上镀单层膜，镀得越厚，误差越小。 对于透明的光学膜，可以测量反射率曲线、透过率曲线，与理论设计的厚度曲线比对，就可以准确判断膜层厚度，然后除以总的沉积时间，得到溅射速率；对于非光学膜，可以用光学玻璃台阶法镀膜，镀后用光学测量仪测量薄膜台阶处的厚度，除以总的沉积时间，得到镀膜的沉积速率。
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2023-06-13 广告
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测量膜层吧。
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测量膜层的厚度嘛
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