Question

集成电路工艺

Answer 1

集成电路工艺（integrated circuit technique ）是把电路所需要的晶体管、二极管、电
阻器和电容器等元件用一定工艺方式制作在一小块硅片、玻璃或陶瓷衬底上，再用适当的工
艺进行互连，然后封装在一个管壳内，使整个电路的体积大大缩小，引出线和焊接点的数目
也大为减少。集成的设想出现在50年代末和60年代初，是采用硅平面技术和薄膜与厚膜技术
来实现的。电子集成技术按工艺方法分为以硅平面工艺为基础的单片集成电路、以薄膜技术
为基础的薄膜集成电路和以丝网印刷技术为基础的厚膜集成电路。
利用研磨、抛光、氧化、扩散、光刻、外延生长、蒸发等一整套平面工艺技术，在一小块硅
单晶片上同时制造晶体管、二极管、电阻和电容等元件，并且采用一定的隔离技术使各元件
在电性能上互相隔离。然后在硅片表面蒸发铝层并用光刻技术刻蚀成互连图形，使元件按需
要互连成完整电路，制成半导体单片集成电路。随着单片集成电路从小、中规模发展到大规
模、超大规模集成电路，平面工艺技术也随之得到发展。例如，扩散掺杂改用离子注入掺杂
工艺；紫外光常规光刻发展到一整套微细加工技术，如采用电子束曝光制版、等离子刻蚀、
反应离子铣等；外延生长又采用超高真空分子束外延技术；采用化学汽相淀积工艺制造多晶
硅、二氧化硅和表面钝化薄膜；互连细线除采用铝或金以外，还采用了化学汽相淀积重掺杂
多晶硅薄膜和贵金属硅化物薄膜，以及多层互连结构等工艺。

追问

集成电路工艺主要分为哪几类？
每一类中包括哪些主要工艺，并简述各工艺的主要作用？
非常感谢！

追答

到百度百科里搜索“集成电路工艺”，会找到更详细的资料说明。

Answer 2

把你的问题描述清楚撒

追问

集成电路工艺主要分为哪几类？
每一类中包括哪些主要工艺，并简述各工艺的主要作用？
非常感谢！