Question

十万级无尘室标准？

Answer 1

首先说，无尘室十万级（10万级）这个洁净等级指的是美国联邦209E标准（也可以写成class100k ）,它近似对标国际ISO14644的8级（也可以写成class 8）。美国209E标准是之前国际上通行的无尘室标准，目前已经被国标ISO14644取代。在中国，这两个标准并行，不少行业还习惯沿用209E标准。
无尘室的定义是控制一定范围内灰尘、有害空气、细 菌等污染物浓度，并按需求控制温湿度、压力、气流速度、噪音、照明、静电等，而给予特别设计的密闭房间。灰尘是控制的主要目标，某些化学类的无尘室会要求控制有害空气，而在某些生物无尘室，则会要求控制细 菌。其他参数根据工艺制程进行控制。
10万级的无尘室，按照美国209E标准，在1立方英尺范围内，0.5微米的灰尘要控制咋10万个以内，5.0微米的灰尘要控制在700个以内。而按照国标ISO14644标准，0.5微米、5.0微米的灰尘需要控制的同时，1.0微米的灰尘也需要控制，而且它的单位是1立方米。在1立方米范围内，0.5微米的灰尘要控制在352万个以内，1.0微米的灰尘要控制在83.2万个以内，5.0微米的灰尘要控制在2.93个以内。从总体上说，国标14644要比美国209E要严格。